微型光譜儀由激發(fā)源(X射線管)和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)，激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
 

　　微型光譜儀使用中的注意事項(xiàng)：
 

　　1、從根本上來(lái)說(shuō)是一種相對(duì)測(cè)量?jī)x器，因此在使用過(guò)程中，需要定期對(duì)儀器進(jìn)行標(biāo)定和校準(zhǔn)。
 

　　2、被測(cè)量樣品的處理與測(cè)量精度的關(guān)系：
 

　　從微型光譜儀分析理論上說(shuō)，對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行必要的處理是必須的；一般來(lái)說(shuō)，樣品處理的越好，則測(cè)量精度就會(huì)越高，測(cè)量結(jié)果越可靠。在實(shí)際使用過(guò)程中，我們應(yīng)該盡量對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行必要的物理處理。
 

　　在測(cè)量不規(guī)則的樣品時(shí)，雖然從X射線熒光分析方法上可以對(duì)測(cè)量進(jìn)行技術(shù)上的校正，從而滿足實(shí)際測(cè)量的需要；但這樣做所付出的代價(jià)是犧牲測(cè)量精度和測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性。
 

　　3、為保證有害元素含量的控制效果，測(cè)量數(shù)據(jù)應(yīng)與其他的測(cè)量手段結(jié)合起來(lái)使用；更適合生產(chǎn)過(guò)程的監(jiān)控，甚至可以說(shuō)：在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)有害元素含量的監(jiān)控，X射線熒光分析方法是目前可行的分析手段；而有害元素含量的終裁定，則不應(yīng)該僅僅依靠單一的測(cè)量手段。